半导体设备
超声波铜线键合机
Y轴采⽤⻰⻔双驱控制⽅式,同步性更好
⼤理⽯平台在机架浮动,机台振动更⼩
先进的焊接质量监控系统,实时监控焊接品质
⾮破坏性拉⼒测试(ALC),在线检测焊接不良
磁⼒弹簧补偿技术,Z轴运动更平稳,配件寿命更⻓
圆筒直线电机实现ZR解耦,降低Z轴负载,减⼩焊前冲击
在线压⼒校准技术,可快速实现压⼒校准,随时检测压⼒⼤⼩
⾼像素GBS装置,可以清晰检测劈⼑、切⼑、线嘴的位置
可搭配料盒式、流⽔线、模组等多种⾃动上下料⽅式
单独电机带动PR系统上下移动,兼容不同识别⾼度,适应性更⼴
前后开关的线夹系统,线材不会